Structure of Piezoresistive Sensor

Di vê senzorê de, şibaka berxwedanê li ser diafragmaya silicon a monokrîstalîn ji hêla pêvajoya entegrasyonê ve tête yek kirin da ku çîpek piezoresistîv a silicon çêbike, û derûdora vê çîpê bi domdarî di şêlê de tête pak kirin, û rêyên elektrodê têne derxistin.Sensora zextê ya piezoresistive, ku wekî senzora zexta rewşa hişk jî tê zanîn, ji pîvana tîrêjê ya adhesive cûda ye, ku hewce dike ku hêza derveyî nerasterast bi navgîniya hêmanên hesas elastîk ve hîs bike, lê rasterast zexta pîvandî bi navgîniya diafragma silicon hîs dike.

Aliyek diafragmaya silicon valahiyek tansiyona bilind e ku bi zexta pîvandî re têkildar e, û aliyek din jî valahiyek tansiyona nizm e ku bi atmosferê re diaxive.Bi gelemperî, diafragma sîlîkonê wekî dorhêlek bi dorhêlek sabît hatî sêwirandin, û rêjeya qelewbûnê bi qalindiyê 20 ~ 60 e. Çar çîpên berxwedana nepaqijiya P li cihî li ser diafragma siliconê ya dorhêl têne belav kirin û bi pirek tije ve girêdayî ye, du ji wan di qada tansiyona pêçanê de ne û her duyên din jî di qada tansiyonê de ne, ku li gorî navenda diafragmê simetrîk in.

Digel vê yekê, diafragmaya siliconê ya çargoşe û sensora stûna silicon jî hene.Sensora silîkonê ya silîkonê di heman demê de ji tîrêjên berxwedêr bi belavkirinê ve li rêgezek krîstal a silîkona silîkonê tê çêkirin, û du tîrêjên berxwedêr ên stresê yên tansiyonê û du tîrêjên berxwedêr ên stresê yên pêçandî pirek tevahî pêk tînin.

Sensorê piezoresîtîf ​​amûrek e ku ji hêla berxwedana belavbûnê ve li ser binê materyalê nîvconductor li gorî bandora piezoresistive ya materyalê nîvconductor hatî çêkirin.Substrata wê rasterast dikare wekî senzorek pîvandinê were bikar anîn, û berxwedana belavbûnê di binavê de di forma pirê de ve girêdayî ye.

Dema ku substrate ji hêla hêza derveyî ve were guheztin, dê nirxên berxwedanê biguhezin û pirek dê hilbera nehevseng a têkildar derxe holê.Substrat (an diafragmayên) ku wekî senzorên piezoresîf têne bikar anîn bi giranî waferên silicon û waferên germanium in.Sensorên piezoresistive yên siliconê yên ku ji waferên silicon têne çêkirin wekî materyalên hesas her ku diçe bêtir balê dikişînin, nemaze senzorên piezoresistive yên hişk ên ji bo pîvandina zext û lezê yên herî zêde têne bikar anîn.