Ji bo senzora zexta rêwîtiya hevpar a sotemeniya Passat 06E906051K tê sepandin

1. Rêbazek ji bo avakirina sensorek zextê, ​​ku tê de:

Pêşkêşkirina binesaziyek nîvconductor, ku tê de qatek dielektrîkî ya yekem a dielektrîkî, qatek dielektrîkî ya yekem a dielektrîkî û qatek dielektrîkî ya duyemîn a navbelav li ser substrata nîvconductor têne çêkirin.

Plateka elektrodê ya jêrîn di tebeqeya dielektrîkî ya yekem a interlayer de, yekem elektrodek hevbeş a ku li ser heman qata plakaya elektroda jêrîn û ji hev cihê ye.

Pelên girêdanê;

Çêkirina tebeqeya qurbanê li jor plakaya polar ya jêrîn;

Damezrandina plakaya elektrodê ya jorîn li ser qata dielektrîkî ya yekem a navberê, qata pêwendiya yekem û qata qurbaniyê;

Piştî avakirina qata qurbanê û berî avakirina plakaya jorîn, di qata pêwendiya yekem de

Damezrandina xelekek pêwendiyê, û dagirtina hêlîna girêdanê bi plakaya jorîn re da ku bi elektrîkê bi qata pêwendiya yekem ve were girêdan; An,

Piştî damezrandina plakaya elektrodê ya jorîn, di plakaya elektroda jorîn û qata pêwendiya yekem a pêwendiyê de groovên girêdanê têne çêkirin.

Damezrandina tebeqeya guhêrbar a ku plakaya elektrodê ya jorîn û qata pêwendiya yekem a pêwendiyê di hêlîna girêdanê de girêdide;

Piştî ku bi elektrîkê plakaya jorîn û qata pêwendiya yekem a hevgirêdanê ve girêdide, tebeqeya qurbanê jê dike da ku valahiyek çêbike.

2. Rêbaza avakirina senzorek zextê li gorî îdîaya 1, ku di qata yekem de ye

Rêbaza avakirina qata qurbanê li ser qata dielektrîkî ya navbelav gavên jêrîn pêk tîne:

Rakirina qatek maddî ya qurbanî li ser qata dîelektrîkê ya yekem a navbera qata;

Nimûnekirina tebeqeya maddî ya qurbanî ji bo avakirina qatek qurbanî.

3. Rêbaza avakirina senzora zextê li gorî îdîaya 2, ku tê de fotolîtografî û gravurkirin têne bikar anîn.

Tebeqeya materyalê ya qurbanî bi pêvajoya etching ve tête nimûne.

4. Rêbaza avakirina senzorek zextê li gorî îdîaya 3, ku tê de qata qurbanê

Materyal karbonê amorf an germanium e.

5. Rêbaza avakirina senzorek zextê li gorî îdîaya 4, ku tê de qata qurbanê

Materyal karbonê amorf e;

Gazên etching ên ku di pêvajoya etching qata maddî ya qurbanî de têne bikar anîn O2, CO, N2 û Ar;

Parametreyên ku di pêvajoya hilanîna qata materyalê ya qurbanî de ev in: Rêjeya herikîna O2 18 SCCM ~ 22 SCCM e, û rêjeya herikîna CO 10%.

Rêjeya herikînê ji 90 SCCM heta 110 SCCM, rêjeya herikîna N2 ji 90 SCCM heya 110 SCCM, û rêjeya herikînê ya Ar.

Rêjeya 90 SCCM ~ 110 SCCM e, rêza zextê 90 mtor ~ 110 mtor e, û hêza bias e

540w~660w.